Гвинтовий вакуумний насос Roots для виробництва напівпровідників

Гвинтовий вакуумний насос Roots поєднує в собі переваги насосів Roots і гвинтових насосів, пропонуючи чисте, ефективне і безмасляне вакуумне рішення для вимогливих промислових і лабораторних застосувань. Завдяки конструкції з щілинним ущільненням і відсутності мастила ці насоси забезпечують високу чистоту і виняткову продуктивність протягом усього терміну експлуатації.

Принцип роботи гвинтового вакуумного насоса Roots

• Гвинтовий вакуумний насос (попередній етап):Функціонує як насос попереднього ступеня, забезпечуючи високу швидкість відкачування та низький тиск вихлопу. Механічне стиснення за допомогою точних гвинтових зазорів забезпечує ефективну роботу з низьким рівнем шуму та вібрації.
• Вакуумний насос Рутса (основний/проміжний):Два ротори, що обертаються синхронно, переносять вихлопні гази з камери всмоктування до камери вихлопу. Ущільнення зазору запобігає забрудненню маслом, підтримуючи чисте вакуумне середовище.
• Послідовна робота:Обидва насоси працюють послідовно, гвинтовий насос підвищує рівень вакууму, а насос Рутса забезпечує стабільну, безперервну ефективність відкачування.

Переваги продуктивності

1. Енергозбереження:Оптимізоване співвідношення швидкості відкачування та ступеня вакууму зменшує споживання енергії, перевершуючи традиційні вакуумні системи за енергоефективністю.
2. Висока ефективність:Досягає ефективності відкачування понад 90%, забезпечуючи високий рівень вакууму при низькому енергоспоживанні для різних процесів.
3. Захист безпеки:Удосконалена система управління з автоматичним запуском/зупинкою, захистом від перевантаження, перевантаження по струму та відключенням води забезпечує довгострокову стабільність.
4. Компактна конструкція:Вертикальне штабелювання або драбинчаста конструкція мінімізують займану площу, що ідеально підходить для заводів і лабораторій з обмеженим простором.
5. Гнучка конфігурація:Регульоване співвідношення швидкості насосів (від 1:2 до 1:8) для адаптації до різних робочих вимог.
6. Антикорозійна стійкість:Поверхні переливу оброблені або виготовлені з корозієстійких матеріалів, що підходить для вилучення корозійних газів та роботи в суворих умовах.

Сфери застосування

• Хімічна промисловість:Витяжка летких органічних розчинників, газів та використання у вакуумних реакторах — широко застосовується у хімічних та фармацевтичних процесах.
• Виробництво напівпровідників:Підтримує процеси вакуумного осадження, очищення та травлення.
• Харчова промисловість:Незамінний для процесів пакування харчових продуктів, дегідратації та вакуумного сушіння.
• Металургійна промисловість:Витягує газ у металургійних печах та лабораторіях для стабілізації процесів плавлення.
• Лабораторні та наукові дослідження:Ідеально підходить для вакуумних експериментів та рекуперації газу в наукових умовах.
• Електронна промисловість:Використовується у виробництві інтегральних схем, вакуумному покритті екранів та інших процесах виробництва електроніки.